行業(yè)動(dòng)態(tài)引領(lǐng)行業(yè) 奮勇拼搏
兩大方面看力士樂(lè)導(dǎo)軌的技術(shù)發(fā)展
發(fā)布日期:2017-05-16 08:52:44 瀏覽次數(shù):
近年來(lái)數(shù)控技術(shù)的迅速發(fā)展,刺激了力士樂(lè)導(dǎo)軌市場(chǎng)需求量的增加,但同時(shí)對(duì)其的*度,運(yùn)行速度,行程以及可靠性等提出了*嚴(yán)格的要求。
高*度、高速度、大行程對(duì)控制系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)控制也提出了很大的挑戰(zhàn)。在工作過(guò)程中,為了保證*度,對(duì)工件臺(tái)的任意位置都需要實(shí)時(shí)控制。當(dāng)*度越高、行程越大、速度越高時(shí),控制系統(tǒng)需要處理的數(shù)據(jù)量和速度也隨著增加。
如果工件臺(tái)的驅(qū)動(dòng)方法是采用直接驅(qū)動(dòng)而不是間接驅(qū)動(dòng),由于減少了傳動(dòng)鏈長(zhǎng)度和傳動(dòng)環(huán)節(jié)中的誤差傳遞,從而使工件臺(tái)的*度、速度以及加速度的性能都得到提高。因此如果力士樂(lè)導(dǎo)軌能夠及時(shí)引用新材料、新技術(shù)的話(huà),能在很大程度上滿(mǎn)足工件臺(tái)發(fā)展的需要。
1、測(cè)量技術(shù).
在力士樂(lè)導(dǎo)軌中所采用的大行程測(cè)量手段主要有光柵測(cè)量和激光干涉儀測(cè)量。光柵測(cè)量是通過(guò)記錄靜光柵尺和動(dòng)光柵尺相互移動(dòng)產(chǎn)生的莫爾干涉條紋數(shù)來(lái)測(cè)量位移的。目前光柵測(cè)量的分辨率可達(dá)到納米量級(jí),測(cè)量*度為t0.015m,測(cè)量范圍為100mrno激光干涉儀以激光在真空中的波長(zhǎng)為長(zhǎng)度基準(zhǔn),測(cè)量*度高,范圍大,可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,測(cè)量的*大速度比光柵測(cè)量的速度大,在安裝時(shí)容易消除“阿貝”誤差等,這些優(yōu)點(diǎn)使它*適合于高*度測(cè)量的場(chǎng)合。目前國(guó)外先進(jìn)的光刻機(jī)都采用商品化的雙頻激光干涉儀。
2、材料.
工件臺(tái)中所用的材料直接影響著工件臺(tái)的性能,如,應(yīng)盡量采用低密度、高剛度的材料,這樣可以減輕系統(tǒng)的重量,提高整個(gè)系統(tǒng)的剛度,從而提高工件臺(tái)的動(dòng)態(tài)性能。為此,通常采用鋁合金、碳化硅等密度小、楊氏模量大的材料;為了減少溫度、振動(dòng)等外界環(huán)境對(duì)工件臺(tái)*度的影響,對(duì)工件臺(tái)所在的環(huán)境要采取嚴(yán)格的溫度控制和隔振措施;在工件臺(tái)的測(cè)量系統(tǒng)中常用殷鋼作為基座,采用零膨脹玻璃作為基準(zhǔn)反射鏡材料。近年來(lái)研究人員利用Zerodur(微晶玻璃材料的一種)的低膨脹系數(shù)和良好的加工性能,加工制作工件臺(tái)中的測(cè)量部件和其他重要零件。
另外,目前激光干涉儀的發(fā)展已經(jīng)出現(xiàn)了以下一些特點(diǎn):
1.高速:可以測(cè)量的*大允許速度在不斷提高。
2.測(cè)量電路集成化程度提高:集成化程度的提高使電路處理信號(hào)的速度隨之提高,從而使系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間可以達(dá)到納秒級(jí),使之滿(mǎn)足了實(shí)時(shí)測(cè)量的需求。
3.光纖的引入:在干涉儀中利用光纖來(lái)傳輸激光,激光頭可以遠(yuǎn)距離安裝,能夠消除潛在的熱影響;同時(shí)減少激光受外界溫度、濕度、大氣壓變化的影響,從而提高測(cè)量*度。
4.高分辨率:當(dāng)前雙頻激光干涉儀可測(cè)量的*小分辨率己達(dá)到了0.15nm。
力士樂(lè)不斷研制出高*度、高速度、大行程的的導(dǎo)軌產(chǎn)品來(lái)滿(mǎn)足機(jī)床的要求。展望未來(lái),應(yīng)用在機(jī)床上的力士樂(lè)導(dǎo)軌將在材料、測(cè)量技術(shù)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)等方面有較大的進(jìn)步,使工件臺(tái)向著高*度、高速度、大行程的方向發(fā)展。
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