1、基本參數(shù)：

• 型號(hào)：KQ-T800SE.DZ
• 整機(jī)尺寸：3000*1000*2350mm
• 內(nèi)槽尺寸：400*400*400mm
• 超聲頻率：80kHz
• 超聲功率：800W
• 超聲功率可調(diào)范圍：40-100%
• 溫度設(shè)定范圍：室溫-80℃
• 干燥溫度設(shè)定范圍：室溫-98℃
• 加熱功率：6KW
• 過濾回收：有
• 清洗介質(zhì)：乙醇/丙酮
• 工作時(shí)間可調(diào)：1-480min

2、行業(yè)：半導(dǎo)體

3、用途：用于晶圓的無損清洗。

4、設(shè)備：該清洗機(jī)主要由超聲波清洗槽、超聲波漂洗槽、浸泡槽、高壓沖洗系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)、溶液回收系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、防爆系統(tǒng)、冷凝系統(tǒng)、吸風(fēng)系統(tǒng)、操控系統(tǒng)等組成。

5、清洗流程：自動(dòng)上料→純水超聲清洗→有機(jī)溶劑超聲漂洗→酸堿浸泡→高壓淋洗→風(fēng)切干燥→自動(dòng)下料。

6、特點(diǎn)：無損清洗晶圓上的粉塵、顆粒，因使用易燃易爆溶液，該設(shè)備具有絕對(duì)的安全性。